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本文综述了能有效提高化学增幅抗蚀剂体系感度的各种类型酸增殖剂及其酸增殖机理.对某些常用于光致抗蚀剂中的酸增殖剂的特性作了介绍.并对它们的应用前景、现存问题和改进方向进行了简单讨论和介绍.
酸增殖剂研究进展
【摘 要】
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本文综述了能有效提高化学增幅抗蚀剂体系感度的各种类型酸增殖剂及其酸增殖机理.对某些常用于光致抗蚀剂中的酸增殖剂的特性作了介绍.并对它们的应用前景、现存问题和改进方
【机 构】
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北京师范大学
【出 处】
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感光科学与光化学
【发表日期】
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2003年4期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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