MBE生长GaN纳米柱XRD和AFM分析

来源 :重庆理工大学学报(自然科学) | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenshu541775136

【摘要】

：

首次使用纳米压印和分子束外延（MBE）相结合的方法在图形化衬底上成功制备出GaN纳米柱,并用XRD和AFM对其形貌和结构特性进行了分析表征.XRD分析表明所制备的GaN纳米柱在（0002）方向

【作者】

：

周平任霄钰苑进社

【机构】

：

重庆师范大学物理与电子工程学院

【出处】

：

重庆理工大学学报(自然科学)

【发表日期】

：

2014年4期

【关键词】

：

分子束外延 Ⅴ Ⅲ比 GaN纳米柱 MBE V/III radio GaN nanocolumns

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首次使用纳米压印和分子束外延（MBE）相结合的方法在图形化衬底上成功制备出GaN纳米柱,并用XRD和AFM对其形貌和结构特性进行了分析表征.XRD分析表明所制备的GaN纳米柱在（0002）方向择优生长.计算得出GaN纳米柱的尺寸约为30 nm.原子力显微镜AFM分析发现：随着Ⅴ/Ⅲ的增大,表面粗糙度逐渐降低.基于XRD和AFM分析结果,讨论了Ⅴ/Ⅲ比对制备GaN纳米柱形貌和结构的影响.

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