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利用等离子体增强化学气相沉积系统，用CH4、NH3和H2为反应气体，在沉积有100nm厚Ta过渡层和60nm厚NiFe催化剂层的Si衬底上制备了碳纳米管，并用扫描电子显微镜研究了它们的生长和结构。结果表明当氨气浓度为20％、40％和60％时，碳纳米管的平均长度分别为3．88μm、4．52μm和6．79μm，而其平均直径变化不大，均在240nm左右。最后，分析讨论了氨气浓度对碳纳米管生长和结构的影响。