【摘 要】
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本文基于场致线性电光效应设计硅基电光调制器的电学结构,并应用ATLAS软件对这种结构的电学性能进行了仿真.综合评价MIS结构的适合应用于电光调制器.
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本文基于场致线性电光效应设计硅基电光调制器的电学结构,并应用ATLAS软件对这种结构的电学性能进行了仿真.综合评价MIS结构的适合应用于电光调制器.
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