【摘 要】
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MLG2型加速度传感器是采用半导体应变片做敏感元件的压阻式传感器,为贴片式悬臂梁结构形式。其特点是体积小,重量轻、灵敏度高、频带宽。不足之处是受温度变化的影响较大。
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MLG2型加速度传感器是采用半导体应变片做敏感元件的压阻式传感器,为贴片式悬臂梁结构形式。其特点是体积小,重量轻、灵敏度高、频带宽。不足之处是受温度变化的影响较大。根据这些特性,为了保证传感器质量,提高测量精度。必须制定相应的工艺规程。现对工艺流程的确定和几项关键的装配工艺的研究
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