【摘 要】
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采用镍过渡层研究了铜基片上金刚石薄膜的化学与气相色沉积，镍过渡层与铜基底间在高温退火条件下形成的铜镍共晶体明显的增强了金刚石薄膜与铜基片之间的结合力，用扫描电子显微
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所,武汉化工学院材料工程系
【基金项目】
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国家 863计划资助!（863－715－002－0020）
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采用镍过渡层研究了铜基片上金刚石薄膜的化学与气相色沉积，镍过渡层与铜基底间在高温退火条件下形成的铜镍共晶体明显的增强了金刚石薄膜与铜基片之间的结合力，用扫描电子显微镜和激光Ｒａｍａｎ谱研究了薄膜的形貌和质量：采用高温氢等离子体退火在基片表面形成的铜镍碳氢共晶体上抑制了无定形碳和石墨的形成，有利于金刚石薄膜的生长。金刚石薄膜的均匀性受到共的均匀性的影响。
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