【摘 要】
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七十年代以来,椭圆测试技术在国内外得到越来越广泛的应用。这种测量方法的主要优点是测量灵敏,精度高。且测量过程是非破坏性的。以往测量过程是手动操作,即耗时、耗力,又
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七十年代以来,椭圆测试技术在国内外得到越来越广泛的应用。这种测量方法的主要优点是测量灵敏,精度高。且测量过程是非破坏性的。以往测量过程是手动操作,即耗时、耗力,又在很大程度上取决于操作人员的熟练程度。当膜厚发生变化时,就无法跟踪测试,配备
Since the seventies, ellipse test technology has been more and more widely used both at home and abroad. The main advantage of this measurement method is sensitive measurement, high accuracy. And the measurement process is non-destructive. The past measurement process is manual operation, that is, time-consuming, energy-consuming, but also to a large extent depends on the proficiency of the operator. When the film thickness changes, you can not track the test, equipped
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