【摘 要】
：
化学机械抛光工艺控制和测量技术随着其工艺重要性的日益提高越来越成熟。测量技术在所有类型的化学机械抛光工艺流程控制中扮演了一个重要的角色,并且可以根据使用的测量技术、其在工艺流程中所处的位置以及类型和产生的数据量以不同的方法实现。述评并提出了一些从现场、延伸的现场、综合的测量技术、以及其对工艺流程控制的影响和普遍应用的测量技术的例子。并且还提出了65nm以及更小技术节点的测量技术以及工艺流程控制策略
论文部分内容阅读
化学机械抛光工艺控制和测量技术随着其工艺重要性的日益提高越来越成熟。测量技术在所有类型的化学机械抛光工艺流程控制中扮演了一个重要的角色,并且可以根据使用的测量技术、其在工艺流程中所处的位置以及类型和产生的数据量以不同的方法实现。述评并提出了一些从现场、延伸的现场、综合的测量技术、以及其对工艺流程控制的影响和普遍应用的测量技术的例子。并且还提出了65nm以及更小技术节点的测量技术以及工艺流程控制策略,在这些未来的技术中,晶片工艺控制以及每个晶圆片方法调整预计将更加苛刻。
其他文献
In the daily life,people often repeat regular routes in certain periods. In this paper,a mining system is developed to find the continuous route patterns of personal past trips. In order to count the
The key to narrow-band interference excision in frequency domain is to determine the excision threshold in direct-sequence spread-spectrum (DS-SS) systems. The excision threshold is a non-linear funct
首先分析地理信息数据库中元数据现有模型及其存在问题,给出地理信息元数据设计模型的原则和地理信息数据的五级存储结构,研究数据的存储结构与地理信息元数据的关系和数据应用与元数据的关系,并设计了一种基于地理信息数据五级存储结构的,由数据基本信息、数据基本操作和数据基本关系三元组来描述的基础地理信息元数据模型及其具体模板,解决地理信息数据在存储、管理和应用上难以协调的问题。
阐述DLG数据的获取方法、转换过程中存在的问题及解决方法;重点介绍自定义格式DLG向大的软件平台转换和DLG到GIS数据转换的方法,利用面向对象方法实现DLG到GIS的数据转换。
目前的地形图查询系统存在着依赖GIS二次开发平台、功能不够全面和不能实现网络查询等不足。基于Visual Basic.NET开发平台,设计实现了一个功能较完善的网络地形图查询信息系统,实现了单点图幅查询、矩形区域查询以及任意区域图幅查询功能。
"数据结构"是计算机专业的一门核心课程,也是测绘专业的一门重要选修课。但由于涉及的概念较多、内容抽象、算法复杂且技巧性强,学生普遍反映该课程枯燥难学。主要针对测绘专业的学生介绍一些教学的方法与体会。
鸟瞰JavaEE 6.0在致力于简单化开发、提升开发效率和提供良好集成平台的努力上又迈出了新的一步。JavaEE 6.0将带来众多技术上的创新,包括全新的APIs——WebBeans 1.0和JAX-RS (Restful support)1.1,以及一些更成熟的APIs(如Servlet 3.0规范)。
对北京地区废弃矿山进行实地勘测,收集整理了相关资料并做出相应的评估分析,以VB语言为开发平台,以SQL2000建立属性数据库,应用组件Mapobjects控件进行了GIS的集成式二次开发,完成了北京地区废弃矿山地质条件信息管理系统的空间数据库建立、属性数据库建立以及系统软件的GIS功能设计等工作,为整个北京地区废弃矿山的治理及植被恢复工程提供了有力的技术支持。
针对目前很多AutoCAD软件绘图指导丛书只对各种操作命令做单一解释,而初学者却不知如何系统地使用AutoCAD软件绘图,在这里结合使用经验,对AutoCAD绘图的基本使用进行综合概括论述。
CAD技术开发应用中存在的问题及解决途径1)CAD技术开发应用大多停留在零部件绘图的"甩图板"阶段这种以计算机代替图板及绘图仪器的二维辅助绘图还不能实现真正意义上的辅助产品设计,它对产品的创新设计、提高产品的整机设计质量、缩短产品的设计制造周期