【摘 要】
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介绍气体微流量标准装置用比较测量法和直接测量法校准漏孔的方法，并给出漏孔的核准结果。该标准装置的校准范围为１７～１×１０－５Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２％。
This paper introduces the method of
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介绍气体微流量标准装置用比较测量法和直接测量法校准漏孔的方法，并给出漏孔的核准结果。该标准装置的校准范围为１７～１×１０－５Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２％。
This paper introduces the method of calibrating leaks by comparing and measuring the standard device of gas microfluidics with the direct measurement method and gives the result of the leak holes approval. The standard device calibration range of 17 ~ 1 × 10-5Pa · L / s, less than 2% uncertainty.
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