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分析了纳米器件研究发展中存在的问题和发展趋势.
纳米器件研究进展
【摘 要】
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分析了纳米器件研究发展中存在的问题和发展趋势.
【机 构】
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2002年2期
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