单晶硅线锯切片亚表层损伤层厚度预测与测量

来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zichou133
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
将线锯加工中磨粒的切削作用过程近似为受法向力与切向力作用的压头移动过程,基于压痕断裂力学理论,综合考虑磨粒下方弹性应力场与残余应力场对中位裂纹扩展的影响,给出了中位裂纹扩展长度的计算公式。将中位裂纹扩展层深度视为亚表层损伤层厚度dSSD,将磨粒下方横向裂纹产生深度视为锯切后表面的表面粗糙度值Rz,从而建立了亚表层损伤层厚度与表面粗糙度值之间的理论模型,用于预测损伤层厚度;使用扫描电子显微镜(SEM),采用截面显微法对硅片的亚表层裂纹层厚度进行了实验检测。结果表明,实验检测结果与理论预测结果较为接近,采用该
其他文献
随着时代的进步,汽车已经进入了大众的日常生活,人们对于汽车性能的要求越来越高,汽车电子设备数量也越来越多。原始的控制技术由于控制系统单一,需要大量的线束,占用有限的车内空
以Ⅱ优明86为对照品种,选择7个适宜作烟后稻种植的杂优品种在尤溪县良种场试验田进行品比试验,结果表明:广优3186、甬优9号表现丰产、优质、较抗病,每667 m2实际产量在630 kg
"环境工程原理"是环境科学与工程专业一门理论性和系统性较强的专业基础课,在教学过程中引入案例教学法,有利于培养社会紧缺的,具备系统的专业理论基础、良好素质和综合能力
中国的改革开放已历经了1/4世纪的时间。对改革中的一些失误的反思,当然是必要的。然而,板子究竟是否应该打在经济学或经济学家身上?这类问题颇值得深刻反思。中国市场化取向的改
采用文献资料法等,对武术教育所具有的基本特性进行理论分析和问卷调查。主要结论:武术教育所表现出来的中华民族文化性、教育方式的实践性、道德礼仪的厚重性、实施的严格性、
运动力学研究的是物体的运动规律。这一理论在诸多领域中都有应用,在机械结构设计中也有着非常重要的应用。就此展开了讨论,简述了机械结构的设计特点及设计要素,分析了运动
按照时下流行的散文类型分类,《油画人生》可归入“人生况味随笔”一类。作者以较为生动的笔触,真切地传达出个人告别校园,走入社会的转换期的心态。从学校到机关,从学生到职
如何始终做到恰如其分,不偏不倚?凡事有分寸,说起来容易,但是贯彻执行起来却很困难,其中难免会受到各种各样的诱惑,遭遇各种各样的委屈,面临各种各样的问题,关键在于如何正确
运用文献资料法等对全球化发展中我国民族武术如何发展进行研究。认为:当前我国传统武术在发展过程中存在着传承封闭性、落后性及保守性;传承人员少等问题。提出在保留民族文化
运用文献资料法、实地调研法和专家访谈法,对东盟民族体育文化进行研究。结果:东盟具有数量庞大、内容丰富的民族体育文化,主要起源于战争、农耕生活与狩猎活动以及与北来文化