论文部分内容阅读
针对现有ＬＳＩ基板研磨过程中，表面误差修正中存在的问题，提出了一种表面误差自动修正系统。该系统采用激光技术测量研磨中的基板表面状况；并以此为基础建立加工状况数据库，同时采用楔形机构对基板表面误差修正控制
集成电路基板研磨表面误差自动修正技术
【摘 要】
：
针对现有ＬＳＩ基板研磨过程中，表面误差修正中存在的问题，提出了一种表面误差自动修正系统。该系统采用激光技术测量研磨中的基板表面状况；并以此为基础建立加工状况数据库，同时采用楔形机构对基板表面误差修正控制
【机 构】
：
重庆大学机械工程学院,日本东北大学工学部
【出 处】
：
重庆大学学报(自然科学版)
【发表日期】
：
0年FIVE902.010期
其他文献
新课程背景下的小组合作学习,是培养学生自主探究能力、合作能力、实践能力和创新能力的重要途径.新课程背景下初中化学教学如何开展小组合作学习呢?笔者认为应该高度重视小
数学源于生活、根植于生活.数学教学就要从学生的生活经验和已有的知识点出发,联系生活讲数学,把生活经验数学化,数学问题生活化.激发学生学习数学的兴趣,让学生深刻体会到生
一、教材分析:rn等比数列的前n项和是高中数学必修五第二章第3.3节的内容.它是“等差数列的前n项和”与“等比数列”内容的延续.这部分内容授课时间2课时,本节课作为第一课时
在初中数学课堂教学中培养和提升学生的抽象思维能力已经成为素质教育和有效教学的必然要求.在这种教学观念下,学生的学习主观能动性和学习兴趣被调动起来,极大了提升了教学
用浸渍法制备了BaCO3-Pt/γ-Al2O3 和Pt-BaCO3/γ-Al2O3 两种样品. X射线衍射和显微红外等表征结果表明, BaCO3可以在载体表面实现单层分散; Pt和BaCO3的负载顺序不同,则BaCO
《数学课程标准》(2011年版)指出:“模型思想的建立是学生体会和理解数学与外部世界联系的基本途径.”数学建模活动能使学生真正体会到数学的应用价值,培养学生的数学应用意
应用逐步逼近、快速冷却的方法确定熔化终点，从而较为准确地测定了铁浴式熔融还原预还原球团矿的熔化速度；用正交实验研究了各因素对球团矿熔化的影响程度，通过单因素实验研究了