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基于激光自动聚焦测量方法提出一种实现快速、精密三维形状测量的扫描速度控制算法。介绍了系统的构成及激光测量头的原理。自动地对曲面轮廓进行边疆扫描测量不仅提高了测量效率，还解决了对软质材料测量的难题。
激光自动聚焦三维形状测量系统的研究
【摘 要】
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基于激光自动聚焦测量方法提出一种实现快速、精密三维形状测量的扫描速度控制算法。介绍了系统的构成及激光测量头的原理。自动地对曲面轮廓进行边疆扫描测量不仅提高了测量
【机 构】
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中国航空精密机械研究所精密超精密加工国家重点实验室
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年2期
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