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针对无人机测控应用设计了一种S波段窄带带通体声波（BAW）滤波器,其技术指标为：中心频率2.46GHz,带宽41MHz,带内插损大于-3dB,带内纹波小于1dB,带外抑制小于-40dB@2.385GHz和2.506GHz。采用Mason模型设计了BAW滤波器中各薄膜体声波谐振器（FBAR）的叠层结构;使用变迹法设计了各FBAR（电极）的形状;采用一种自行开发的自动布局方法得到紧凑的BAW滤波器布局;建立了BAW滤波器的声-电磁协同仿真模型,通过这种高保真的多物理场仿真方法对设计结果进行了性能验证。该设计流