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离子束辅助沉积制备氮化钽薄膜
离子束辅助沉积制备氮化钽薄膜
来源 :大连理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mashangdenglu998
【摘 要】
:
利用离子束辅助沉积(IBAD)技术制备TaN薄膜;掠入谢的X射线衍射和透射电镜观察结果显示,薄膜晶粒细小、结构致密,是面心立方结构。
【作 者】
:
梅显秀
张庆瑜
马腾才
杨大智
陈遐
王煜明
滕凤恩
【机 构】
:
三束材料改性国家重点实验室大连理工大学分部,吉林大学材料科学系
【出 处】
:
大连理工大学学报
【发表日期】
:
1995年5期
【关键词】
:
薄膜
氮化钽薄膜
离子束辅助沉积
制备
ion implantation
assisted deposition
film/TaN films
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利用离子束辅助沉积(IBAD)技术制备TaN薄膜;掠入谢的X射线衍射和透射电镜观察结果显示,薄膜晶粒细小、结构致密,是面心立方结构。
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