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引言rn 研制电子束和电子束引发放电抽运的准分子激光器的首批工作是俄罗斯科学院西伯利亚分院强流电子学研究所同仁于1977年创始的。同时，美国关于稀有气体卤化物激光器首次运转的报导也广为人知。在5年内，用不同脉宽的电子束抽运研究了XeF(λ=350 nm)、XeCl(λ=308 nm)和XeBr(λ=282 nm)激光器，得到的能量达1 J，而且表明这些激光器反转的产生机理极不同。激活体积增至28 L时，电子束引发的放电抽运XeF激光器的辐射能量达到25 J，电子束抽运激活体积为3 L的XeCl激光器能量为10 J。激活体积30 L的XeCl激光器的能量进一步增至50 J。