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介绍了利用光干涉法动态监控膜厚的原理,并介绍了对生产薄膜设备和镀膜设备在工作时对膜厚动态检测和控制。
光干涉理论在制膜工程技术中的应用
【摘 要】
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介绍了利用光干涉法动态监控膜厚的原理,并介绍了对生产薄膜设备和镀膜设备在工作时对膜厚动态检测和控制。
【机 构】
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上海电机学院文理学院
【出 处】
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上海电机学院学报
【发表日期】
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2006年04期
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