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用解析的方法对典型的基于SUMMIT工艺、静电活塞式驱动的分立式微镜进行了快速的静态与动态仿真,避免了有限元法的繁琐性.在微镜阵列变形时的孔径函数不能用解析表达式表示的情况下,应用MATLAB软件实现了快速傅里叶变换,得到了单色平面波经微镜阵列反射后的的远场衍射花样.
静电活塞式驱动的分立式微镜的快速仿真
【摘 要】
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用解析的方法对典型的基于SUMMIT工艺、静电活塞式驱动的分立式微镜进行了快速的静态与动态仿真,避免了有限元法的繁琐性.在微镜阵列变形时的孔径函数不能用解析表达式表示的
【机 构】
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西北工业大学微/纳米系统实验室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2005年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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