激光检测摩擦力显微镜的定量标定

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本文简要描述了激光检测摩擦力显微镜的工作原理,探索出一种横向力标定的有效方法,可以从横向力信号中提取摩擦力信号,从而能够定量地对试样表面的形貌和力学性质进行纳米量级的评定,以获取微观表面真实的三维形貌图和微观摩擦系数等信息,为纳米摩擦学设计提供依据。实验结果表明,用该方法测得未清洗单晶硅表面的微观摩擦系数约为0.06,和Bhushan等人的结果吻合的很好。
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