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本文分析了用SPV法确定异型外延材料少子扩散长度的可行性,并对典型工艺参数,给出了有效少子扩散长度L_0与外延层厚度d、外延层及衬底少子扩散长度L_1、L_2的关系曲线.提供了一种确定外延层材料少子扩散长度的新方法.
用表面光压（SPV）法确定异型外延材料中的少子扩散长度
【摘 要】
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本文分析了用SPV法确定异型外延材料少子扩散长度的可行性,并对典型工艺参数,给出了有效少子扩散长度L_0与外延层厚度d、外延层及衬底少子扩散长度L_1、L_2的关系曲线.提供了
【机 构】
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杭州大学电子工程系,杭州大学电子工程系
【出 处】
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杭州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1991年2期
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