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、一 .总经理:陆德纯凶 .硅片制篷一部 洁净度最高(10级)的光刻窒一 .硅片制造部上海贝岭微电子制造有限公司
上海贝岭微电子制造有限公司
【摘 要】
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、一 .总经理:陆德纯凶 .硅片制篷一部 洁净度最高(10级)的光刻窒一 .硅片制造部上海贝岭微电子制造有限公司
【出 处】
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工业技术进步
【发表日期】
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1996年1期
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