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期刊论文
准分子激光加工表面轮廓的分形分析
准分子激光加工表面轮廓的分形分析
来源 :航天制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Test_518
【摘 要】
:
准分子激光加工是解决MEMS中微摩擦问题的手段之一。通过研究准分子激光加工表面轮廓的分形特性,探索准分子激光加工表面轮廓分析中的应用问题,如分形参数表征和分形插值模拟等
【作 者】
:
蔡伟群
陈志新
【机 构】
:
东华理工学院,南昌大学机电学院
【出 处】
:
航天制造技术
【发表日期】
:
2003年3期
【关键词】
:
准分子激光加工
分形参数
加工表面
表面轮廓
微摩擦
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准分子激光加工是解决MEMS中微摩擦问题的手段之一。通过研究准分子激光加工表面轮廓的分形特性,探索准分子激光加工表面轮廓分析中的应用问题,如分形参数表征和分形插值模拟等。
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