【摘 要】
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通过磁控溅射方法生长了不同银层厚度的ZnO/Ag/ZnO多层结构的薄膜,并对其形貌、光吸收谱、光致发光和光响应特性进行了比较研究。结果表明ZnO薄膜中银薄层的加入使得光致发光
【机 构】
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中国科学院激发态物理重点实验室长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
【基金项目】
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中国科学院知识创新工程重要方向项目（KJCX3.SYW.WOI）资助项目
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通过磁控溅射方法生长了不同银层厚度的ZnO/Ag/ZnO多层结构的薄膜,并对其形貌、光吸收谱、光致发光和光响应特性进行了比较研究。结果表明ZnO薄膜中银薄层的加入使得光致发光的强度增强。银层厚度为6 nm样品制成的器件在350 nm处的光响应度为0.06 A/W,相对于ZnO薄膜提高了一个数量级。而当银层厚度达到15 nm时,光响应度反而下降。
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