【摘 要】
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Si-doped Ge2Sb2Te5 films have been prepared by dc magnetron co-sputtering with Ge2Sb2Te5 and Si targets. The addition of Si in the Ge2Sb2Te5 film results in the
【机 构】
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National Key Laboratory of Nano/Micro Fabrication Technology, Key Laboratory for Thin Film and Micro
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Si-doped Ge2Sb2Te5 films have been prepared by dc magnetron co-sputtering with Ge2Sb2Te5 and Si targets. The addition of Si in the Ge2Sb2Te5 film results in the increase of both crystallization temperature and phasetransition temperature from face-centred-cubic (fcc) phase to hexagonal (hex) phase. The resistivity of the Ge2Sb2Te5 film shows a significant increase with the Si doping. When doping 11.8 at.% of Si in the film, the resistivity after 460℃ annealing increases from 1 to 11mΩ·cm and dynamic resistance increase from 64 to 99Ω compared to the undoped Ge2Sb2Te5 film. This is very helpful to writing current reduction of phase-change random access memory.
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