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在研究二维FFT法进行干涉测试基本原理的基础上，提出一种基于二维FFT的薄膜厚度测量新方法。利用搭建的泰曼-格林型干涉系统，用CCD接收、采集卡采集，可获得被测膜层的干涉条纹图像。编制算法处理软件，可实现对干涉条纹图中薄膜边缘识别、区域延拓、滤波、波面统一等的处理，从而获得带有薄膜信息的面形分布，实现对薄膜样片厚度的自动化测量。研究结果表明：所测薄膜厚度的峰谷值为0．2562，均方根值为0．068λ，说明采用基于FFT的薄膜厚度干涉测量新方法测量薄膜厚度具有较高的精度。