论文部分内容阅读
【正】电子器件的很多参数都与薄层电阻关系密切,因而需要研究可靠的测量仪器来测量电子器件的相关参数。直流四探针测试法是微电子行业常用的测量材料电阻率的方法,通过测量材料的电阻率可以得到材料的掺杂浓度等重要信息。本文,笔者以STM32为核心控制器,设计了一种新型的数字化智能四探针测试仪,该测试仪可以手动自主选择、自动切换电压电流量