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研制了一种环形波导腔环绕直径３０ｃｍ，高５０ｃｍ耐热玻璃圆筒真空室构成的新的大面积微波等离子体源。环形波导内侧开有多个用来激励产生等离子体的狭缝，相邻狭缝间的距离为半个波导波长。利用该装置研究了微波功率，工作气体对氩等离子体特性的影响。
环形波导狭缝天线产生的氩等离子体特性研究
【摘 要】
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研制了一种环形波导腔环绕直径３０ｃｍ，高５０ｃｍ耐热玻璃圆筒真空室构成的新的大面积微波等离子体源。环形波导内侧开有多个用来激励产生等离子体的狭缝，相邻狭缝间的距离为半个波导波长。利
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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核聚变与等离子体物理
【发表日期】
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1999年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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