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环形波导狭缝天线产生的氩等离子体特性研究
环形波导狭缝天线产生的氩等离子体特性研究
来源 :核聚变与等离子体物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:love43524
【摘 要】
:
研制了一种环形波导腔环绕直径30cm,高50cm耐热玻璃圆筒真空室构成的新的大面积微波等离子体源。环形波导内侧开有多个用来激励产生等离子体的狭缝,相邻狭缝间的距离为半个波导波长。利
【作 者】
:
苏小保
邬钦崇
【机 构】
:
中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
:
核聚变与等离子体物理
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
微波
等离子体
环形波导
静电双探针
狭缝天线
Microwave plasmaAnnular waveguideDouble Langmuir probe
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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研制了一种环形波导腔环绕直径30cm,高50cm耐热玻璃圆筒真空室构成的新的大面积微波等离子体源。环形波导内侧开有多个用来激励产生等离子体的狭缝,相邻狭缝间的距离为半个波导波长。利用该装置研究了微波功率,工作气体对氩等离子体特性的影响。
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