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用硼铝二氧化硅乳胶源制造快速晶闸管
用硼铝二氧化硅乳胶源制造快速晶闸管
来源 :电力电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuzuhua
【摘 要】
:
使用硼铝二氧化硅乳胶源制出500A,1600V快速晶闸管,其主要参数di/dt≥300A/us,du/dt≥500V/us,本文介绍了该器件的结构特点,理论设计及关键工艺。
【作 者】
:
周立波
【机 构】
:
国营七七七厂
【出 处】
:
电力电子技术
【发表日期】
:
1992年1期
【关键词】
:
快速晶闸管
扩散源
半导体工艺
乳胶源
硼铝二氧化硅
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使用硼铝二氧化硅乳胶源制出500A,1600V快速晶闸管,其主要参数di/dt≥300A/us,du/dt≥500V/us,本文介绍了该器件的结构特点,理论设计及关键工艺。
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