【摘 要】
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为实现磷锗锌(ZnGeP_( 2))晶体超精密切削,提高表面加工质量,获得纳米级的超光滑表面,基于纳米压痕实验计算出磷锗锌晶体表面脆塑转变临界深度。在此深度内切削材料产生脆塑转变,并以塑性方式去除。在此基础上,采用单点金刚石飞切机床DFC600A开展磷锗锌晶体超精密切削。通过控制切削深度低于磷锗锌晶体脆塑转变临界深度,使材料表面仅发生塑性变形,实现了晶体表面纳米级光滑表面加工,表面粗糙度达1.01 nm,达到了对磷锗锌晶体表面的加工要求,验证了方法的有效性。
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(51305413),高档数控机床国家科技重大专项项目(2017ZX04022001-201-003),中物院超精密加工技术重点实验室基金项目(K1128)。
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为实现磷锗锌(ZnGeP_( 2))晶体超精密切削,提高表面加工质量,获得纳米级的超光滑表面,基于纳米压痕实验计算出磷锗锌晶体表面脆塑转变临界深度。在此深度内切削材料产生脆塑转变,并以塑性方式去除。在此基础上,采用单点金刚石飞切机床DFC600A开展磷锗锌晶体超精密切削。通过控制切削深度低于磷锗锌晶体脆塑转变临界深度,使材料表面仅发生塑性变形,实现了晶体表面纳米级光滑表面加工,表面粗糙度达1.01 nm,达到了对磷锗锌晶体表面的加工要求,验证了方法的有效性。
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