【摘 要】
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射频微波元件在使用矢量网络分析仪（VNA）进行S参数测量时，往往需要引入夹具以连接微波元件和VNA两端的线缆。但是这个过程不可避免的引入了导体与地之间的自有电容以及导体与导体之间的互有电容的耦合误差。为了去除这些误差对测试的影响，本文使用了不同的校准技术，如直通-反射-线（TRL）、双延时（Double-L）、直通-反射（TR）来去除这些误差。实测结果表明：直通-反射-延时线（TRL）的幅度和相位
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（U1809203,62071264）；
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射频微波元件在使用矢量网络分析仪（VNA）进行S参数测量时，往往需要引入夹具以连接微波元件和VNA两端的线缆。但是这个过程不可避免的引入了导体与地之间的自有电容以及导体与导体之间的互有电容的耦合误差。为了去除这些误差对测试的影响，本文使用了不同的校准技术，如直通-反射-线（TRL）、双延时（Double-L）、直通-反射（TR）来去除这些误差。实测结果表明：直通-反射-延时线（TRL）的幅度和相位与官方手册结果一致，三种校准技术均有较高的精度，但直通-反射-线（TRL）比双延时（Double-L）、直通-反射（TR）应用范围更广。
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