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在芯片的生产过程中,会经历许多次的掺杂、增层、光刻和热处理等工艺制程,每一步都必须达到极其苛刻的物理特性要求.但是,即使是最成熟的工艺制程也存在不同位置之间、不同晶圆之间、不同工艺运行之间以及不同时段之间的变异.
也谈芯片生产中的“过程能力指数”分析
【摘 要】
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在芯片的生产过程中,会经历许多次的掺杂、增层、光刻和热处理等工艺制程,每一步都必须达到极其苛刻的物理特性要求.但是,即使是最成熟的工艺制程也存在不同位置之间、不同晶
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2008年7期
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