【摘 要】
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为了获得高面形精度、高反射率的轻质反射镜,选用Si C为基底材料,对反射镜的加工制备工艺进行了深入研究。首先从车载大口径FSM中平面反射镜的应用需求出发,提出了反射镜的主
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院大学
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为了获得高面形精度、高反射率的轻质反射镜,选用Si C为基底材料,对反射镜的加工制备工艺进行了深入研究。首先从车载大口径FSM中平面反射镜的应用需求出发,提出了反射镜的主要设计指标。然后,针对反射镜的轻量化结构采用反应烧结法获得镜坯,并通过机械加工使其接近成型;继而采用物理气相沉积法对Si C反射镜进行表面改性处理,进而采用古典抛光法对反射镜进行光学精加工;最后在反射镜的工作表面镀覆金反射膜。在完成车载大口径FSM用Si C反射镜的加工制备后,对反射镜的面形精度和反射率进行了实验检测。结果显示:Si C反射镜的面形精度(RMS值)优于λ/30;对中波激光的反射率约为98.0%,对长波激光的反射率约为98.2%;均满足车载大口径FSM的应用需求。
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