【摘 要】
：
为了分析羟基自由基水溶液中金刚石抛光碳化硅过程中材料原子级别的去除机理,采用反应分子动力学对抛光过程进行了模拟.结果表明:羟基自由基和水分子吸附在碳化硅表面,浸入到
【机 构】
：
沈阳工业大学机械工程学院,辽宁石油化工大学机械工程学院
【基金项目】
：
辽宁省自然科学基金项目(201602550),辽宁省教育厅一般项目(L2017LQN024).
论文部分内容阅读
为了分析羟基自由基水溶液中金刚石抛光碳化硅过程中材料原子级别的去除机理,采用反应分子动力学对抛光过程进行了模拟.结果表明:羟基自由基和水分子吸附在碳化硅表面,浸入到碳化硅表面并与Si原子和C原子成键,实现碳化硅基体的氧化;在磨粒机械作用下,工件的Si原子主要以SiO、SiO2或Si链的形式去除,C原子主要以CO、CO2形式去除;抛光压力越大,工件表面吸附的原子数越多,工件去除的原子越多;抛光速度过大,基体与溶液反应时间缩短,导致工件原子去除量小,表明从工件上去除原子是化学反应和机械作用的结果.
其他文献
以直流应急无线充电模块为例,分析磁芯优化设计的基础、原理以及具体方法,并分别阐述对准和未对准条件下的优化措施,以提升收发设备间的误差容限,降低磁芯损耗。
电力系统正面临信息化、数字化和智能化变革,利用网络系统和物理系统的高度结合,带动“电力-信息-业务”发展模式,同时也为电力监控系统网络安全带来新的挑战。从网络安全的
针对备用电源自动投入装置逻辑校验过程中存在的问题,设计了一种交流双电源备投系统测试仪,介绍了设计的原则、整体构架,设计了该设备的硬件部分与软件部分,分析了该设计的主
伴随我国科学技术的不断发展,电气工程与信息技术获得了有机的融合,推动了电气工程自动化更加快速地发展。面对传统电气自动化控制系统在针对多元控制主体处置繁琐问题时所表
记录82名受访者认为工作获得成功的具体事件,通过扎根理论归纳其对应的能力素质,对应填写《军医岗位胜任力核检表》。结果显示以岗位胜任力为一级指标,军医对9项二级指标提及
现代社会的快速发展,相应扩大了智能电网的规模,为社会生产与生活带来了极大便利。在电力企业生产经营的过程中会产生海量数据,通过合理应用技术措施分析和处理大数据能够挖
通过分析BP神经网络用于检测系统存在的问题,在传统BP算法基础上,采用自动变速率学习法,引入遗忘因子、随机优化算子,并将其用于网络入侵检测系统.仿真实验结果表明,改进的BP
针对我国干旱半干旱地区节水灌溉中需要动态调节的问题，提出在灌溉决策中考虑非充分灌溉因素，运用Jen-sen乘法模型建立“灌水．收益”的数学模型，采用遗传算法、基于SQP算法和基于
柱芳烃具有独特的富电子空腔和易于功能化的特性,在材料科学、生命科学、环境科学等领域呈现出良好的应用前景.将离子液体与柱芳烃结合可以在离子液体的可设计性结构、无饱和