【摘 要】
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针对超声扫描用于LTCC滤波器微分层检测的可行性开展研究。首先通过理论计算证实，在参考频率下滤波器内部微分层缺陷对超声波有极高的反射率，对实际检测过程中的分辨力要求进行了说明。其次对滤波器开展超声实测，给出具体可行的检测程序，依据检测结果对缺陷信息进行了判别。然后制取样品剖面，根据获取的缺陷信息定位缺陷。最后，利用FIB刻蚀技术对检测结果进行验证，证实了滤波器微分层超声检测的可行性。
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针对超声扫描用于LTCC滤波器微分层检测的可行性开展研究。首先通过理论计算证实，在参考频率下滤波器内部微分层缺陷对超声波有极高的反射率，对实际检测过程中的分辨力要求进行了说明。其次对滤波器开展超声实测，给出具体可行的检测程序，依据检测结果对缺陷信息进行了判别。然后制取样品剖面，根据获取的缺陷信息定位缺陷。最后，利用FIB刻蚀技术对检测结果进行验证，证实了滤波器微分层超声检测的可行性。
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