扫描电镜中的电子反射镜像现象及应用

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观察非导电样品在扫描电镜(SEM)中产生的电子镜现象。研究了电子镜出现的条件,监测了电子镜像出现过程中表面电势Es和吸收电流Ia的变化。结果表明,当Es达到7kV~9kV时出现了电子镜像。当电子总发射产额σ≌1,Es≌4kV,及Ia≌0时,形成了稳定而无畸变的电子镜像。利用电子镜现象可确定电子散射率及入射电子能量的临界值E2,以及评价非导电样品导电性能。
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