【摘 要】
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双边驱动结构具有行程大、驱动力大、带宽高等优点，在平面两自由度气浮精密／超精密运动台中得到了广泛应用。双边驱动方式通常采用双边测量，这样不仅会导致阿贝误差，同时也会对系
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系IC装备实验室
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双边驱动结构具有行程大、驱动力大、带宽高等优点，在平面两自由度气浮精密／超精密运动台中得到了广泛应用。双边驱动方式通常采用双边测量，这样不仅会导致阿贝误差，同时也会对系统的模型产生影响。本文针对平面两自由度双边驱动气浮精密运动台，通过仿真和辨识实验研究，对系统的共振和反共振问题进行了深入分析，为解决此类双边驱动结构的振动问题提供了理论依据。
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