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期刊论文
离子注入中的沟道效应控制
离子注入中的沟道效应控制
来源 :微电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kevin7878
【摘 要】
:
离子注入中的沟道效应使注入离子在深度上的控制变得很困难,并使SHEET值的均一性恶化.本文借助计算机模型,对注入剂量、注入能量、硅片基板方位、硅片表面薄膜氧化层厚度变化
【作 者】
:
朱国夫
杨达永
【机 构】
:
华越微电子有限公司
【出 处】
:
微电子技术
【发表日期】
:
2002年3期
【关键词】
:
离子注入
沟道效应
计算机模型
SHEET电阻
均一性
控制
Ion implantationChanneleffectModel of computation
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离子注入中的沟道效应使注入离子在深度上的控制变得很困难,并使SHEET值的均一性恶化.本文借助计算机模型,对注入剂量、注入能量、硅片基板方位、硅片表面薄膜氧化层厚度变化时,研究分析了注入沟道效应的相应变化.
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