TiN涂层相组成计算机分析

来源 :武汉理工大学学报(信息与管理工程版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：juyexia

【摘要】

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用计算机分析系统对不同TiN PVD涂层工艺的镀膜层相组成进行了分析,并用Winfit 和Origin软件对X衍射图谱进行作图标定.研究表明,TiN涂层相组成主要有TiN、Ti2N、TiN0.26和FeT

【作者】

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叶卫平张静

【机构】

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武汉理工大学材科科学与工程学院

【出处】

：

武汉理工大学学报(信息与管理工程版)

【发表日期】

：

2003年2期

【关键词】

：

计算机分析相组成 X衍射图谱涂层质量 TIN涂层涂层性能离子镀沉积工艺工艺参数 computer analysis phase structure

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用计算机分析系统对不同TiN PVD涂层工艺的镀膜层相组成进行了分析,并用Winfit 和Origin软件对X衍射图谱进行作图标定.研究表明,TiN涂层相组成主要有TiN、Ti2N、TiN0.26和FeTi相;工艺参数(如负偏压、靶电流和氮分压等)对涂层性能和质量的影响很大.在分析的基础上提出了合理的工艺参数.

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