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讨论了工业硅粉中Fe、Al、Ca等杂质的含量对三氯氢硅合成系统的启动以及正常运行时的影响,并选择不同杂质含量的硅粉进行实验,以找到最适合三氯氢硅合成的生产工艺。
硅粉杂质对三氯氢硅合成启动及运行的影响
【摘 要】
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讨论了工业硅粉中Fe、Al、Ca等杂质的含量对三氯氢硅合成系统的启动以及正常运行时的影响,并选择不同杂质含量的硅粉进行实验,以找到最适合三氯氢硅合成的生产工艺。
【机 构】
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四川新光硅业科技有限公司
【出 处】
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有机硅材料
【发表日期】
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2010年06期
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