【摘 要】
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采用激光粒度仪、透射电子显微镜（TEM）、傅里叶红外分析测试仪（FTIR）以及紫外可见分光光度计（UV-Vis）等测试手段，研究了在酸性条件下制备SiO2溶胶过程中硅烷偶联剂（KH-570）对二氧化硅（S
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院,中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川大学原子与分子物理所
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（2005AA844010）
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采用激光粒度仪、透射电子显微镜（TEM）、傅里叶红外分析测试仪（FTIR）以及紫外可见分光光度计（UV-Vis）等测试手段，研究了在酸性条件下制备SiO2溶胶过程中硅烷偶联剂（KH-570）对二氧化硅（SiO2）溶胶性能的影响．结果表明：加入硅烷偶联剂改性的SiO2溶胶体系分散均匀无团簇，并且由此制得的SiO2薄膜透光率高于没有经过改性的薄膜。
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