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通过对9-12%Cr汽轮机转子钢蠕变疲劳后的微观组织进行了分析研究,得到其在蠕变不同阶段的组织特征和蠕变速率变化情况。重点针对其蠕变前后的亚晶结构,析出物(M23C6碳化物、MX碳氮化物、Laves相、Z相等)进行了对比分析,以及对蠕变空洞形成作出解释。通过蠕变疲劳全过程的微观组织分析,对其微观损伤机制做了总结和讨论,并对微观结构分析的方法和思路提出了建议。