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用低能量脉冲激光沉积（PLD）方法在单晶硅片、石英玻璃片、载玻片等基底材料上分别沉积了一层碳膜.X射线衍射谱证明碳膜为非晶态,喇曼散射实验表明膜无明显类金刚石特征,紫外-可见分光光度计测试结果表明：膜在紫外、可见光区折射率低于石英、玻璃等材料,红外透过率谱显示膜在红外区有宽范围、显著增透作用．
低能量PLD方法沉积的a—C薄膜结构及光学性能研究
【摘 要】
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用低能量脉冲激光沉积（PLD）方法在单晶硅片、石英玻璃片、载玻片等基底材料上分别沉积了一层碳膜.X射线衍射谱证明碳膜为非晶态,喇曼散射实验表明膜无明显类金刚石特征,紫外-可
【机 构】
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湘潭大学物理系
【出 处】
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湘潭大学自然科学学报
【发表日期】
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2001年2期
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