【摘 要】
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基于音叉式探针的特性,建立了探针针尖与样品表面接近过程中的动力学方程,并利用Simulink软件模拟了该过程中探针悬臂振幅响应情况。搭建了基于音叉探针的接近曲线检测装置,
【机 构】
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中国计量大学计量测试工程学院,中国计量科学研究院
【基金项目】
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国家重点研发计划(2016YFF0200602),国家重点研发专项(2016YFA0200901)
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基于音叉式探针的特性,建立了探针针尖与样品表面接近过程中的动力学方程,并利用Simulink软件模拟了该过程中探针悬臂振幅响应情况。搭建了基于音叉探针的接近曲线检测装置,使用位移系统控制程序和锁相放大器数据采集程序,在调幅模式下获得探针在不同激励电压下的接近曲线,在调幅模式下获得探针在不同激励电压下的接近曲线,探针在25,50,75,100 m V的激励下,工作距离分别为4. 12,5. 1,5. 95,7. 6nm,结果与仿真相符。
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