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18．2nm正人射显微成像系统用多层膜可极大地提高18．2nm的反射率，但它对紫外、可见和红外光也产生很高的反射。显微成像系统用的激光等离子体光源会在红外到敦X射线产生大量的辐射，18．2nm正入射显微系统用的胶片对所有光谱都十分敏感。因此，182nm正人射显微成像系统需要用滤光片滤除不需要的光辐射并对18．2nm的软X射线有较大的透射比，这样才能获得18．2nm的软X射线像。本文讨论了18．2nm正入射显微成像系统用滤光片的设计、制作及其特性。为了去除滤光片膜中的应力，用交替蒸镀Al和C多层膜的方法来制