【摘 要】
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以辉光放电产生的低温等离子体,其电子温度T_g≥10~4K,而气体温度T_g接近4×10~2K。在我们的工作里,等离子体处理是在一气体流动系统内进行,其电源为直流、交流或射频。在直
【机 构】
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上海市纺织科学研究院上海原子核研究所,上海市纺织科学研究院上海原子核研究所,上海市纺织科学研究院上海原子核研究所
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以辉光放电产生的低温等离子体,其电子温度T_g≥10~4K,而气体温度T_g接近4×10~2K。在我们的工作里,等离子体处理是在一气体流动系统内进行,其电源为直流、交流或射频。在直流或交流系统
Low-temperature plasma generated by glow discharge has an electron temperature T_g≥10 ~ 4K and a gas temperature T_g of nearly 4 × 10 ~ 2K. In our work, plasma treatment is carried out in a gas flow system, the power supply for the DC, AC or RF. In DC or AC system
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