Fabrication and properties of ZAO powder, sputtering target materials and the related films

来源 :北京科技大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jchenghai

【作者】

：

Wei Shao Ruixin Ma Bin Liu

【机构】

：

MetallurgicalandEcologicalEngineeringSchool

【出处】

：

北京科技大学学报：英文版

【发表日期】

：

2006年4期

【关键词】

：

透明导电膜氧化锌铝化学共沉淀溅射工艺 transparent conductive film Al-doped zinc oxide chemical

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