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化工技术使多晶硅不再是“高耗能、高污染”产业
化工技术使多晶硅不再是“高耗能、高污染”产业
来源 :石油化工应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bosigai
【摘 要】
:
多晶硅生产属于高新科技项目,但生产过程中产生大量的四氯化硅等氯硅烷副产物,使生产成本居高不下,部分氯硅烷及氯化氢进入尾气,既增加了尾气处理成本,也增大了污染物的排放量。
【出 处】
:
石油化工应用
【发表日期】
:
2011年1期
【关键词】
:
多晶硅
污染物
化工技术
高耗能
产业
生产过程
生产成本
尾气处理
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多晶硅生产属于高新科技项目,但生产过程中产生大量的四氯化硅等氯硅烷副产物,使生产成本居高不下,部分氯硅烷及氯化氢进入尾气,既增加了尾气处理成本,也增大了污染物的排放量。
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