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适用于晶体硅太阳能电池的HF/LF—PECVD SiNx:H薄膜的特性研究
适用于晶体硅太阳能电池的HF/LF—PECVD SiNx:H薄膜的特性研究
来源 :枣庄学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:effielove0228
【摘 要】
:
介绍了使用HF/LF—PECVD方法制备适用于晶体硅太阳能电池的SiNx:H薄膜.在温度、压强、射频功率和板极间距固定的条件下,通过改变气体流量,制备不同特性的薄膜,并测量薄膜的厚度均匀
【作 者】
:
李振华
【机 构】
:
枣庄学院光电工程学院
【出 处】
:
枣庄学院学报
【发表日期】
:
2013年2期
【关键词】
:
晶体硅太阳能电池
HF
LF—PECVD
厚度均匀性
折射率
少数载流子寿命
crystalline solar cell
HF/LF - PECVD
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介绍了使用HF/LF—PECVD方法制备适用于晶体硅太阳能电池的SiNx:H薄膜.在温度、压强、射频功率和板极间距固定的条件下,通过改变气体流量,制备不同特性的薄膜,并测量薄膜的厚度均匀性、薄膜的折射率和基底的少数载流子寿命的变化,从这三个方面对SiNx:H薄膜的特性进行研究.
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