【摘 要】
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如同在金刚石上一样,在包括硅、钼和二氧化硅的非金刚石衬底上,用化学汽相沉积法生长了金刚石微细晶体。沉积是采用将碳氢化合物和氢气的混合物通入一个加热的反应器而进行的
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如同在金刚石上一样,在包括硅、钼和二氧化硅的非金刚石衬底上,用化学汽相沉积法生长了金刚石微细晶体。沉积是采用将碳氢化合物和氢气的混合物通入一个加热的反应器而进行的,反应器内靠近衬底处装有热钨丝。用反射电子衍射和喇曼光谱仪鉴定了沉积物。研究了实验条件对生长特性的影响。
Like on diamond, diamond micrograins were grown by chemical vapor deposition on non-diamond substrates including silicon, molybdenum and silicon dioxide. Deposition is performed by passing a mixture of hydrocarbons and hydrogen into a heated reactor containing hot tungsten filament near the substrate. Sediments were identified by reflection electron diffraction and Raman spectroscopy. The effects of experimental conditions on the growth characteristics were studied.
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