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介绍了测辐射热汁的工作原理、器件结构的几何形状和研制状况,叙述了测辐射热计材料的特性及制备技术.
测辐射热计的微桥研制和VOx膜成膜研究
【摘 要】
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介绍了测辐射热汁的工作原理、器件结构的几何形状和研制状况,叙述了测辐射热计材料的特性及制备技术.
【机 构】
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中国兵器工业第214研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2002年1期
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